Tweet
微小異物・微小欠陥問題の解決法
歩留まりや信頼性を向上させるためのセミナー。マイクロアナリシス技術を演習により修得し、欠陥現象の具体的問題解決法に活かそう！
日時：平成22年 10月21日 (木) 10：30～17：00
【受講対象】
・半導体、ウエハ、液晶、電子部品、電子材料関連の技術者、品質管理者
【予備知識】
・理工系の大学院卒レベルの基礎知識
【修得知識】
・異物が問題となった時、解決できる能力
【講師の言葉】
製造プロセスではミクロンオーダーの微小異物や微小欠陥が製品の歩留まり（収率）や信頼性（品質）の上で大きな問題となります。異物を特定し、℃のプロセスで発生するかを究明しなければ、問題は根本的に解決できません。そのために不可欠な手段がマイクロアナリシスです。
東レリサーチセンター時代から30年以上各種の異物や、微小欠陥を分析してきました。長年の分析経験を踏まえ、微小異物や微小欠陥をどう捉え、いかにサンプリングし、どの分析法を適用するか、実際の分析例を通じて紹介します。また、演習を通じて、具体的な問題を取り上げて解決法を紹介すると共に、原因解明が難しい現象問題へのアプローチの仕方も紹介します。
【プログラム】
Ⅰ．はじめに
Ⅱ．微小異物、微小欠陥の分析法
Ⅲ．顕微赤外分光法（赤外顕微鏡）
1．赤外顕微鏡とは（原理、特徴）
2．どれだけ小さいものまで分析できるか
3．微小異物、微小欠陥の存在場所による最適測定モードの選択
・透過法、・反射法、・ATR法、・高感度反射法等各種手法の特徴と使い分け
4．サンプリング（前処理）と分析例（フイルム付着物、配線パターン上異物、製品内部異物、液中異物）
Ⅳ．赤外イメージング
1．イメージングの原理と特徴
2．どのような異物、欠陥分析に有効か
3．分析例（ITOパターン上付着物、基板汚れ、塗布欠陥）
Ⅴ．マイクロサンプリング質量分析法
1．マイクロサンプリング質量分析法とは
2．原理と特徴
3．どのような微小異物、欠陥分析に有効か
4．サンプリング（前処理）と分析例（フイルム付着物、配線上異物、錠剤異物、液中浮遊異物）
Ⅵ．演習（欠陥現象の解析法（異物と間違えられる）
1．ウエハ、基板上のサブミクロン点在粒子を分析する
2．塗膜塗布欠陥（はじき）の原因を解明する
3．接着不良問題を解決する
4．ポリマーの硬化、劣化問題を解明
5．微小変色、微小欠陥（ゲル、クラック等）の原因解明
6．ポリマーの劣化（クラック、白化）
7．UVによるポリマー劣化深さを探る
Ⅶ．まとめ
新着セミナー
2012年1月10日
超撥水・超親水化技術のメカニズムとコントロール
バグを出さない効果的なレビュー計画及びチェックリスト作成演習
研究者・技術者のための他社特許明細書分析と弱点の見つけ方
初歩から学ぶゴム材料：材料設計の基礎から疲労と劣化の予測まで
マトリックスコンバータの基礎と各種用途への応用技術
MATLABを用いた画像処理の基礎講座
スイッチング・コンバータのネガティブ・フィードバック設計とそのポイント
体内時計の科学と産業応用
食のバイオ計測の最前線
2012年1月 6日
高分子系複合材料の損傷・破壊機構と自己修復機能の付与【大阪開催】
ワイヤレス給電の基礎と磁気共鳴型方式の設計・共振器の選択【大阪開催】
３Ｄディスプレイ最新動向
射出成形における加工時間短縮と高品質化技術
金属材料の破断面解析技術とその事例
製品開発におけるビジネスプランの作成と合意形成のテクニック
トラックバック(0)
このブログ記事を参照しているブログ一覧: 微小異物・微小欠陥問題の解決法
このブログ記事に対するトラックバックURL: http://www.rdsc-seminar.com/mt-tb.cgi/1330
